Распределение примеси в двухслойной мишени

Распределение концентрации примеси в верхнем слое двухслойной мишени определяется дозой имплантации и параметрами, определяемыми материалом слоя и энергией имплантации, R_p1 и DR_p1,

, при x £ h.

Для нахождения распределения концентрации примеси во втором слое двухслойной мишени можно представить, что имплантация ведётся через слой того же материала, что и материал второго слоя, но другой – эквивалентной толщины h* (рис. 3.7). Тогда распределение концентрации примеси во втором слое принимает вид

, при x* ³ h*,

где x* отсчитывается от поверхности эквивалентного слоя, x* = x + Dh, а Dh = h* – h. Таким образом, для нахождения C₂(x) нужно определить величину Dh,отличающую толщину эквивалентного слоя h* от реальной толщины h. Она может быть найдена из соотношений, полученных в 3.4 для количества примеси Q₂, пропущенной реальным и эквивиалентным слоями,

откуда получаем искомое для Dh выражение,

.

Соответственно, выражение для распределения концентрации примеси во втором слое принимает вид

, при x ³ h.

Аналогичным образом можно найти распределения концентрации имплантированной примеси и в многослойных мишенях. На границах слоёв концентрация претерпевает скачок, обратно пропорциональный отношению страгглингов,

.