Рабочая часть ЭИ с микроэлементами на поверхности; 2 – медная трубка

Рисунок 3.14 – Схема сборки рабочей части ЭИ с основанием [68]

При формировании выступающих микроэлементов на торце электрода-инструмента, необходимо, в первую очередь, отдельно на подложке сформировать микроэлементы, которые впоследствии будут соединены с основанием (стержнем) ЭИ. Этапы формирования микроэлементов подобны стадиям формирования микроэлементов по аддитивной технологии, рассмотренной выше. На рисунке 3.15 представлены последующие стадии формирования выступающих микроэлементов, размерами “a”, “d”, “h”, “H” менее 1 мм.

а

Б в

А – формирование элементов на подложке; б – соединение элементов с телом ЭИ; в – ЭИ с элементами на рабочей части

Анод (электрод), 2 – электролит, 3 – фоторезист, 4 – металлическая подложка, 5 – нанесенный слой, 6 – основание ЭИ, 7 – припой (олово)

Рисунок 3.15 – Стадии формирования микроэлементов на рабочей части ЭИ [68]

Возможно получение ЭИ как с одним, так и несколькими микроэлементами на торце в зависимости от диаметра стержня и параметров формируемого рисунка.