Точечные дефекты (справка)
К точечным дефектам относятся:
- дефекты по Шоттки,
- дефекты по Френкелю,
- атомы примеси в положении замещения,
- атомы примеси в междоузлии.
Дефект по Шоттки представляет собой вакансию в кристаллической решетке. Вакансия образуется, как правило, на поверхности кристалла. При этом атом или покидает решетку или остается с ней связанным. В дальнейшем вакансия мигрирует в объем кристалла за счет его тепловой энергии. В условиях термодинамического равновесия концентрация этих дефектов NШ задается уравнением:
NШ= C·exp(-W/kT), (*)
где C - константа,
W - энергия образования данного вида дефекта.
Для кремния значение W= 2,6 эВ.
Дефект по Френкелю представляет собой вакансию и междоузельный атом. Концентрация этих дефектов вычисляется также по формуле (*), но с большим значением энергии образования междоузельного атома W= 4,5 эВ. Вакансия и междоузельный атомы перемещаются внутри решетки за счет тепловой энергии.
Возможно внедрение примесных атомов в кристаллическую решетку. При этом атомы примеси, находящиеся в положении замещения, создают энергетические уровни в запрещенной зоне полупроводника.
Атомы примеси, находящиеся в междоузлиях, не создают этих уровней, но влияют на механические свойства полупроводника.
Дата добавления: 2020-11-18; просмотров: 308;