Окончательная обработка кремния

Из установки извлекают кремниевый слиток диаметром 20 - 50 см и длиной до 3 метров. Для получения из него кремниевых пластин заданной ориентации и толщиной в несколько десятых миллиметра производят следующие технологические операции:

1. Механическая обработка слитка:
- отделение затравочной и хвостовой части слитка;
- обдирка боковой поверхности до нужной толщины;
- шлифовка одного или нескольких базовых срезов (для облегчения дальнейшей ориентации в технологических установках и для определения кристаллографической ориентации);
- резка алмазными пилами слитка на пластины: (100) - точно по плоскости (111) - с разориентацией на несколько градусов.

2. Травление. На абразивном материале SiC или Al2O3 удаляются повреждения высотой более 10 мкм. Затем в смеси плавиковой, азотной и уксусной кислот, приготовленной в пропорции 1:4:3, или раствора щелочей натрия производится травление поверхности Si.

3. Полирование- получение зеркально гладкой поверхности. Используют смесь полирующей суспензии (коллоидный раствор частиц SiO2 размером 10 нм) с водой.

В окончательном виде кремний представляет собой пластину диаметром 15 - 40 см, толщиной 0.5 - 0.65 мм с одной зеркальной поверхностью. Вид пластин с различной ориентацией поверхности и типом проводимости приведен на рисунке:

Эпитаксия

Введение

• Причина появления и преимущества технологии изготовления эпитаксиальных пленок

Эпитаксия из газовой фазы

• Идея метода, схема реактора
• Процессы массопереноса
• Химическая кинетика
• Механизмы наращивания эпитаксиальных пленок
• Легирование и автолегирование при эпитаксии
• Технологическое оборудование
• Выбор оптимальной технологии
• Дефекты эпитаксиальных пленок

Молекулярно-лучевая эпитаксия

• Преимущества метода
• Описание процесса МЛЭ
• Особенности легирования при МЛЭ
• Перспективы развития. Приборы, получаемые с использованием МЛЭ

Дополнительные вопросы

• Технология "Кремний на изоляторе"
• Оценка параметров эпитаксиальных структур

Введение