Анизотропия кристаллов. Индексы Миллера
Ни одна из рассмотренных кристаллических решеток не обладает абсолютно пространственной симметрией. Поэтому и свойства кристалла зависят от направления, в котором они рассматриваются. Такое разнообразие свойств кристалла в разных направлениях называют анизотропией.
Чтобы задать направление в кристалле, за начало системы координат принимают одну из вершин (узел) элементарной кристаллической ячейки, а в качестве осей приникают ребра, сходящиеся в этой вершине. Эти оси называют кристаллографическими и обозначают X, У, Z (рисунок 1.6). Длины ребер элементарной ячейки называют осевыми единицами. Если взять плоскость в кристалле, которая пересекает кристаллографические оси х, y, z в точках А, В, С, то она отсекает на осях х, у, z отрезки ОА. 0В, ОС. За единицу измерения этих отрезков берут постоянную решетки, условно принятую за единицу. Находят обратные значения этих отрезков. Полученные обратные величины 1/OA, 1/OB, 1/OC приводят к общему знаменателю, затем знаменатель отбрасывают. Полученные числа называют индексами Миллера. Индексы Миллера в круглых скобках, например,(111),(110),100) обозначают расположение плоскости в кристалле. Если плоскость в кристалле не пересекает кристаллическую ось, то индекс Миллера –нуль. Для семейства параллельных плоскостей в кристалле и отстоящих на параметр решетки индексы Миллера одинаковы и заключаются в фигурные скобки, например {100},{101}
Рисунок 1.6 - Примеры обозначения направлений и кристаллографических плоскостей в кубических кристаллах с помощью индексов Миллера.
Таким образом, ориентация плоскости задаётся величинами обратными длинам отсекаемых отрезков. Направления кристаллографических осей записывают о помощью индексов Миллера, заключенных в квадратные скобки. Например, направление оси Х – [100]. Семейство параллельных направлений обозначается так <100>, <101>. Знак минус над индексом соответствует отрицательному отрезку (010), (001) (рисунок 1.6).
Для полупроводникового производства анизотропия имеет важное значение, т.к. направление кристаллографических плоскостей определяет скорость травления, диффузии и другие свойства полупроводника.
Если тело состоит из большого количества кристаллов, т.е. является поликристаллическим, то за счет усреднения свойств отдельных кристаллов свойства тела в целом не зависят от направления. Эта кажущаяся независимость свойств тела от направления называется квазиизотропией. Однако с помощью специальной обработки могут быть получены текстурованные материалы с ориентированным расположением кристаллов, в которых проявляется анизотропия.
Дата добавления: 2018-11-26; просмотров: 1118;