Преимущества метода

• хорошее качество пленки, воспроизводящей рельеф поверхности подложки;
• возможность нанесения пленок на относительно большое количество подложек одновременно;
• простота оборудования.

Недостаток метода

• невозможность получения качественных пленок алюминия.

Металлизация с использованием
источников резистивного нагрева

Идея метода

Металл закрепляется на нити, изготовленной из тугоплавкого материала (например, вольфрама), или помещается в специально приготовленную лодочку. Затем нить или лодочку нагревают, пропуская через них электрический ток. Металл при этом испаряется в окружающее пространство рабочей вакуумной камеры.

Для достижения более равномерного покрытия ступенчатого рельефа напыление осуществляют из нескольких спиралей одновременно.

Преимущества метода

• простота конструкции нагревателя,
• низкая стоимость,
• отсутствие ионизирующего излучения.

Недостатки метода

• загрязнение пленки материалом нагревателя,
• низкий срок службы спирали,
• малая величина загрузки.

Металлизация с использованием
электронно-лучевого испарения

Идея метода

Схема установки приведена на рисунке. Горячий катод (Cu) испускает пучок электронов (величина тока порядка 1 А), ускоряемых напряжением 10 кВ. Эти электроны направляются магнитным полем на участок мишени, где располагается испаряемый материал (Al). Траекторию движения электронов подбирают такой, чтобы примеси из катода не попадали на подложку.

Сканирование луча по поверхности расплава предотвращает неоднородность в скорости осаждения.

Оптимальная скорость роста пленки составляет 0.5 мкм/мин. С помощью данного метода наносят пленки алюминия и его сплавов, а также Si, Pd, Au, Ti, Mo, Pt, W.