Конструкции реакторов

На практике для большинства процессов используют простейший реактор с односторонним вводом газов, представляющий собой цилиндрическую кварцевину ( реже металлическую трубу). Газы вводятся в фланец, а в том случае, когда реагенты реагируют уже при комнатной температуре, они вводятся в реактор раздельно.

Триггерные реакторы

Для выравнивания скорости осаждения производится периодическое переключение потока газа и откачки с одного конца реактора на другой, так что реагенты пролетают рабочую зону в двух направлениях. Такая откачка позволяет уменьшить эффект истощения газовой смеси и способствует более равномерному распределению газов по реактору. Ввод газов осуществляется по щели шириной 0,13 –0,51 мм, направленной вертикально вверх. Газы подаются с двух противоположных концов. Это устраняет перепад давления по длине трубки и способствует выравниванию концентрации реагентов по рабочей зоне.

Конструкции контейнеров