Свойства реагентов и реакции при ХОГФ

Таблица 12.1 - Физико-химические свойства газов

Вещество	Формула	Состояние при н.у.	Тпл,°С	Ткпг,°С
Моносилан Дихлорсилан Тетрахлорид Si Тетраэтоксисилан Фосфин Диборан Аммиак Закись азота Гексафторид W Гексафторид М0	SiH4 SiH2Cl2 SiCl4 Si(OC2H5)4 PH3 B2H6 NH3 N2O WF6 М0F6	г г * * г г г г * *	-185 -122 -68,1 -85,5 -133,8 -165,5 -77,8 -90,8 - -	-112 8,3 57,6 166,5 -87,4 -92,5 -33,5 -88,5

Реакции разложения (пиролиза) и соединения реагентов:

500-600°С

SiH4 ¾¾® Si + 2H2

350-500°С

SiH4 + O2 ¾¾® SiO2 +H2O(H2)

350-500°С

700-900°С

SiH4 +N2O ¾¾® SiO2 + N2 + H2(H2O)

700-900°С

3SiH4 + 4NH3 ¾¾® W + 6HF

200-600°С

WF6 +2SiH4 ¾¾® WSi2 + HF

Таблица 12.2. – Обобщенные характеристики процессов осаждения

Характеристики	РАД	РПД
1) Производительность, пл/цикл 2) Уменьшение производительности при увеличении диаметра подложки 3) Разброс толщины слоев: ±% - по пластине - в партии пластин 4) Скорость осаждения, мм/мин 5) Расход газа – носителя, м³/n	£ 50 Сильное 5-10 10-15 20-200 1,5-5	£200 Слабое 5-20 0,05

Одна из основных проблем ХОГФ – получение однородных по толщине слоев на пластинах большого диаметра.

Причины разброса толщины:

- формирование газовых потоков, завихрений

- диффузионные ограничения в зоне реакций

- неравномерный прогрев подложки

- обеднение газовой фазы активными компонентами.

В РПД обеспечивается высокая скорость диффузии ( в 1000 раз выше), высокая скорость пролета газов, что обеспечивает практически постоянную концентрацию активных веществ.

Расположение пластин и схема массопереноса в РПД, разброс по толщине

Рисунок 12.1 - Расположение пластин и схема массопереноса

Кроме того разброс может возникнуть в результате наклона пластин и нарушения коаксиальности пластин и реактора (рис.11.2)

Рисунок 12.2 – Причины возникновения разброса толщины

<41 42 434445 46 47 >

Дата добавления: 2016-06-29; просмотров: 1440;

Свойства реагентов и реакции при ХОГФ

Публикации по технике и механике

Публикации по биологии

Публикации по информатике

Публикации по строительству

Публикации по физике

Публикации по химии

Публикации по электронике

Публикации по искусству

Публикации по истории

Публикации по медицине

Публикации по педагогике