Б) Диффузия при высоких концентрациях примесей.


I) Мышьяк. Из теории взаимодействия с ионизованными дефектами:

DAs=(2n/ni)(Di)As

- коэффициент учитывает влияние электрического поля. Если концентрация As>1020см-3, то образуются кластеры и при T<1000 °C коэффициент диффузии кластеров очень мал, при более высокой температуре кластеры распадаются и диффузия идет атомами.

II) Бор.

При CB >1020 см-3 D стремится к 0, как в случае с мышьяком.

в) Диффузия в SiO2.

Получают экспериментальным путем коэффициент диффузии для разных примесей по результатам легирующей через SiO2 поверхности кремния.

3) Влияние электрического поля.

При диффузии ионов создается внутреннее электрическое поле:

Для донорной примеси: . Так как число ионизованных доноров равно числу электронов и считая, что все доноры ионизованы, получаем:

np=ni2 и NД=n. Тогда

(1)

Диффузионный поток в электрическом поле:

(2)

где Z - заряд донорных атомов. Подставляя (1) в (2) и заменив на , получим

, где

h- коэффициент ускорения диффузии при наличии электрического поля. В случае, когда ND/2ni много больше 1, h=2 - максимальное ускорение.



Дата добавления: 2020-11-18; просмотров: 316;


Поиск по сайту:

Воспользовавшись поиском можно найти нужную информацию на сайте.

Поделитесь с друзьями:

Считаете данную информацию полезной, тогда расскажите друзьям в соц. сетях.
Poznayka.org - Познайка.Орг - 2016-2024 год. Материал предоставляется для ознакомительных и учебных целей.
Генерация страницы за: 0.008 сек.