Герметизация крышки корпуса

Основной целью герметизации корпуса является защита от внешних загрязнений во время функционирования прибора. Любые загрязнения, присутствующие на поверхности кристалла, должны быть удалены до приемлемого уровня перед герметизацией или во время этой операции. Корпусы могут быть герметизированы стеклом, металлами или полимерами. Использованное здесь определение герметичности подразумевает не только выдерживание испытаний корпусом на вакуумную утечку, но и исключение возможности загрязнения из окружающей среды в течение длительного времени.

Почти для всех высококачественных корпусов герметизацию выполняют стеклом или металлом. Ранее герметизацию стеклом использовали для керамических плоских корпусов с двухрядным расположением вертикальных выводов, где процесс герметизации в основном тот же, что и при герметизации крышки корпуса. Многие металлы, применяемые для монтажа кристалла, подходят и для герметизации крышки корпуса. Герметизация вакуумно-плотным металлом, исключающая влияние окружающей среды, может быть произведена без особых осложнений. Реальным затруднением является освобождение корпуса от загрязнений, особенно влаги, перед процессом герметизации.

Определенные проблемы могут возникать при низких рабочих температурах, когда происходит конденсация влаги внутри корпуса. Последующие реакции в присутствии небольшого количества галогенов могут привести к коррозии алюминия:

6HCl + 2Al 2AlCl₃ + 3H₂,
AlCl₃ + 3HOH Al(OH)₃ + 3HCl,
2Al(OH)₃ + старение Al₂O₃ + 3H₂O.

Отметим, что HCl воспроизводится в этих реакциях до тех пор, пока не прокорродирует весь алюминий. Для протекания этих реакций необходима относительная влажность 65%. Уровень влаги в каждом частном случае разный, но ни один корпус не должен подвергаться герметизации при содержании влаги в его объеме более 0,6% (точка росы 0 °С).