Примеси в полупроводниках
Примесь в ПП может замещать собственный атом в узле кристаллической решетки и характер электропроводности, которую эта примесь вызовет, определяется ее валентностью. Атомы примесей с большей валентностью (относительно валентности простого ПП) поставляют дополнительные свободные электроны и являются донорами, а атомы примесей с меньшей валентностью принимают электроны из валентной зоны, образуя дополнительные дырки, являются акцепторами. Рассмотрим механизм образования носителей заряда в примесных ПП.
Пусть атом кремния (элемента 1У группы таблицы Менделеева) в кристаллической решетке замещен атомом фосфора (элемента У группы) (рисунок 3.1, б). Четыре из пяти валентных электронов фосфора будут участвовать в образовании ковалентных связей с 4-мя ближайшими атомами кремния, а пятый электрон будет связан только со своим атомом. Прочность такой связи намного меньше прочности ковалентной связи, т.е. энергия ионизации примеси ЕД = 0,044 эВ, необходимая для отрыва этого электрона, гораздо меньше ширины запрещенной зоны Si ΔЕ = 1,12 эВ. Следовательно, достаточно очень небольшой дополнительной энергии, чтобы этот пятый электрон на внешней орбите атома фосфора оторвался от него и стал электроном проводимости. Образовавшийся положительный ион фосфора остается, неподвижным в узле решетки, носителями заряда становятся пятые валентные электроны фосфора. Таким образом, пятивалентный фосфор является донорной примесью в четырехвалентном кремнии.
Теперь рассмотрим случай замещения атомов кремния атомами трехвалентного элемента (элемента Ш группы таблицы Менделеева), например, бора. Все три его валентных электрона участвуют в образовании ковалентных связей с атомами кремния, но одна связь остается незавершенной, т.е. появляется дырка. Заполнить это вакантное место (дырку) сможет электрон соседнего атома кремния, для чего потребуется очень малая энергия ΔЕА = 0,046 эВ (в случае бора в кремнии), т.е. электрон из валентной зоны переходит на уровень ΔЕА (рисунок 3.2), оставляя вакансию-дырку. Образовавшийся отрицательный ион бора остается в узле кристалла неподвижным, а дырка перемещается по связям атомов кремния и обеспечивает его проводимость. Примесь, захватывающая электроны, называется акцепторной.
Существуют также примеси, не оказывающие влияния на электропроводность ПП. Их называют нейтральными. Например, для Si это элементы 1У группы таблицы Менделеева: олово, свинец, германий, инертные газы, водород, азот.
Некоторые примеси могут не только замещать атомы ПП в узлах кристаллической решетки, но и внедряться в междоузлие, Они могут играть роль и доноров, и акцепторов, их энергетические уровни обычно лежат далеко от дна зоны проводимости и от потолка валентной зоны и называются глубокими, а примеси - амфотерными. Например, золото в запрещенной зоне Si имеет донорный уровень ЕД =0,3 эВ и акцепторный ЕА = 0,39 эВ. Эти уровни еще называют рекомбинационными ловушками.
Одним из критериев выбора элемента-примеси является предел растворимости. Высокий предел растворимости необходим для сильного легирования, например, при создании эмиттерных областей транзистора, кроме того, нужно учитывать коэффициент диффузии примеси. Если уже в кристалле созданы области транзистора, например, база, то коэффициент диффузии примеси для создания следующей эмиттерной области транзистора должен быть небольшим, чтобы не произошло смещения границы областей. Примесь также не должна вносить существенные искажения в решетке ПП кристалла, поэтому ее ионный радиус должен быть близким к ковалентному радиусу атома ПП. Относительные размеры ионов различных элементов даны в ангстремах (I Å = 10-10 м) на рисунке 3.3.
В 0,88 | С 0,77 | N 0,70 | 0,66 |
Al 1,26 | Si 1,17 | Р 1,10 | S 1,04 |
Ga 1,26 | Ge 1,17 | As 1,18 | Se 1,14 |
1п 1,44 | Sn 1,40 | Sb 1,36 | Те 1,32 |
Рисунок 3.3
В кристалле кремния наибольшие дефекты в кристаллической решетке будет вносить донор - сурьма Sb, а наименьшие - мышьяк As .
Дата добавления: 2018-11-26; просмотров: 632;