Настройка микроинтерферометра

Включить лампу (трансформатор) и положить испытуемую деталь на столик прибора исследуемой поверхностью вниз (к объективу). Повернуть рукоятку 23 так, чтобы указатель (стрелка) на ней стояла вертикально, и с помощью микрометронного винта 28 сфокусировать микроинтерферометр на испытуемую поверхность. Затем поворотом рукоятки 23 включить объек­тивную головку 34 (стрелка на рукоятке должна быть горизонтальной); при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы. С помощью микрометренного винта 28 следует добиться наиболее резкого изображения полос и такого положения, при котором в поле зрения будут видны одновременно изображения контролируемой поверхности и интерфе­ренционной картины. Если при резкой фокусировке на объект наиболее резкие и контрастные интерференционные полосы получились не в центре поля зрения, то следует отвернуть контргайку 27, и вращая винт 26, привести полосы в центр поля зрения. Затем провернуть фокусировку по испытуемой поверхности и закрепить винт 26 контргайкой 27. Винтом 26 и контргайкой 27 разрешается пользоваться только лаборанту или препо­давателю. Для получения большей контрастности полос рекомендуется по­воротом кольца 25 несколько уменьшить отверстие ампертурной диафрагмы.

Если на исследуемой поверхности имеется борозда глубиной /2, то, так как свет проходит борозду дважды, возникает добавочная разность хода, равная λ и интерференционная полоса искривится и дос­тигнет полосы соответствующей минимуму следующего порядка.

Аналогично искривляются полосы, перпендикулярные борозде. В этом случае наблюдаемая величина искривления будет равна расстоянию между полосами (рис. 3).

Если величина искривления равна Na, то глубина борозды:

(1)

Величина Na может быть найдена как отношение величины искривления полос к расстоянию между полосами.

Выражение (1) справедливо и для дробных значений. Измерение про­водится на интерференционном микроскопе МИИ - 3, предназначенном для визуального измерения неровностей от 1 до 03 мкм.