Длина свободного пробега электрона и вероятность ионизации.

(1)

Если больше энергии ионизации , то при столкновении электрона с нейтральной частицей может произойти ионизация. Если энергии электрона недостаточно для этого, то возможно возбуждение частицы, а при столкновении с возбужденной частицей, находящейся в метастабильном состоянии, такой электрон может участвовать в процессе ступенчатой ионизации.Расстояние, который должен пролететь электрон, чтобы накопить достаточную для ионизации энергию, определяется как

(4)

и зависит от напряженности электрического поля.Вероятность того, что электрон пролетит путь без столкновений, составляет

, (5)

но это и есть вероятность приобретения электроном энергии , при которой возможна ионизация, т.е. можно считать вероятностью ионизации.