Механические вакуумные насосы

Поршневые насосы (ПВН) представляют собой обычные поршневые компрессоры, к которым предъявляются повышенные требования в отношении мертвого пространства и герметичности.

Преимущества –высокий КПД и надежность.

Недостатки –значительная металлоемкость, большие габариты, потребность в фундаментах или других опорных конструкциях вследствие наличия неуравновешенных сил.

Турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН)

По сравнению с другими высоковакуумными средствами откачки ТМН обладают следующими преимуществами:

- удаляют газ из сосуда, а не сорбируют его на рабочих органах, как крионасосы, электрофизические насосы различного типа, адсорционные насосы;

- не загрязняют среду откачиваемого сосуда парами углеводородов или другими рабочими веществами, как диффузионные насосы, насосы с распылением титана и др.;

- отличаются большой быстротой действия при откачке газов с малой молекулярной массой, обычно трудно удаляемых из вакуумных установок.

Эти преимущества ТМН область их применения: создание и поддержание остаточного давления в пределах Па при откачке сосудов, для которых недопустимо загрязнение сред парами углеводородов и другими рабочими веществами; откачка неконденсирующихся газов ( ) в высоковакуумных системах.

Конструктивная схема двухпоточного ТМН представлена на рис. 1. В корпусе 2 с неподвижными статорными дисками 4 вращается ротор 1, представляющий собой вал с рабочими колесами 3. Последние выполняют либо в виде дисков с выфрезерованными косыми радиальными пазами, либо в форме лопаточных колес ( лопатки устанавливают под определенным углом к торцевой поверхности втулки).

В статорных колесах пазы располагаются зеркально по отношению к пазам роторных колес.

Всасывающий патрубок расположен в средней части корпуса. Нагнетательные полости размещенные по торцам корпуса насоса, объединены патрубком, к которому подсоединен форвакуумный насос.

Распространены ТМН с вертикальным расположением вала, в которых уменьшено сопротивление на всасывание.

Насос приводится в действие от электродвигателя.

ТМН работает последовательно с форвакуумными насосами, создающими предельное остаточное давление, как правило, Па.